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検査システム・センサ

シリコンウェハ温度センサ

白金薄膜素子及び熱電対を使用したシリコンウェハの温度分布計測を目的とする温度センサです。

金属チップに素子部を埋め込む、類のない構造で、機械的強度及び集熱効果に優れ、検出部にバラツキがなく安定した計測が可能です。測定点数は1点から任意に選択 でき、ウェハサイズも任意のものをご用意できます。(基本は8インチと12インチ)
計測は、熱伝対及びPTC100Ωに対応するデータロガー等で計測ください。

特 徴/Features

    半導体製造時における熱処理装置の乾燥工程時のウェハーの温度分布を調査して、定期的に装置性能を確認するセンサ 

  • 機械的強度及び集熱効果に優れる
  • 測定点数は1点から任意に設定可能
  • ウェハサイズは8インチと12インチ(オプションで他サイズも製作可能)
シリコンウェハ温度センサ

写真1 シリコンウェハ温度センサ

取付け例/Installation Example

6インチ時のセンサ取付側(表面)

図2 6インチ時のセンサ取付例(表面)

6インチ時のセンサ取付側(裏面)

図3 6インチ時のセンサ取付例(裏面)
(センサ部を再度コートした例)

 

6インチ時のセンサ取付図面例

図4 6インチ時のセンサ取付図面例

 
  
センサ例

写真5 センサ例


 
8インチ時のセンサ取付側

図6 8インチ時のセンサ取付例(裏面)
(センサ部をコート無例)


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