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検査システム・センサ

センサ

sensor

温度センサ

白金薄膜温度センサ

超小型素子1.2x1.7mmを採用し. φ2.0X7.0mmの超小型検出端で、コストパフォーマンスが高い高精度超小型温度センサーです。 特殊仕様のセンサーを1本からでも製作いたします。

シリコンウェハ温度センサ

シリコンウェハに超小型温度センサを埋め込んだ低価格温度センサです。 半導体製造時のシリコンウェハの温度分布計測に利用されています。

配管温度センサ(インラインタイプ)

滑円筒感温部を採用し、無滞留で衛生的、高速流体、高粘度流体(配管)の温度測定も可能にした配管温度センサです。EHEDG認証(欧州食品製造安全基準)を取得しており、食品、医薬分野に多数の納品実績があります。

樹脂モールド温度センサ

耐薬品性(耐静電気)に優れたPFA樹脂による完全樹脂モールド(特殊脱泡方式採用)温度センサで、高応答性、高寿命な温度センサです。 半導体製造、医薬・食品分野で使用されています。

ローコスト・温度差計(調節器)

温度差による制御を可能にした温度差温度計(調節器)で、当社の各種白金温度センサと組合わせて使用する事で、ローコストながら精度の高いコントロール可能になります。

高精度温度計

測定精度±0.05℃を実現したアナログ出力付きの高精度温度計です。

湿度センサ

湿度センサ素子 HCT-1000シリーズ

静電容量出力の低価格組込型湿度センサです。感知面積が大きく、計測精度が高い(校正必要)のが特徴です。

湿度センサ素子 IH-4600シリーズ

電圧出力の小型湿度センサです。低価格の機種から、IH-4602-C管型のように簡易シール可能タイプ、少量の計測に最適な湿度センサタイプ等、各種取り揃えています。

圧力センサ、その他

配管圧力計(インラインタイプ)

滑円筒感圧部を採用した配管圧力センサです。無滞留で衛生的、高速流体、高粘度流体(配管)の圧力測定も可能にしました。EHEDG認証(欧州食品製造安全基準)を取得しており、食品、医薬分野に多数の納品実績があります。